石英管的选用与检测方法

选用

闭管扩散要用石英管，这是由于石英管能耐1250℃左右的高温，而且在1800℃以上时会变得很柔软且很粘，能做成所需要的形状。另一方面，由于石英管采用的原料是特级水晶石，纯度高，含有害的杂质很少，对于扩散、配制合金等能保证质量，因此闭管扩散常采用石英管。 石英管的制备：根据扩散硅片直径的不同，来选择石英管的内径、壁厚等参数。

检测

(1)石英管的阻值检测 石英管可以通过万用表检测其阻值，将万用表挡位调至“蜂鸣挡”，将红黑表笔分别搭在石英管的两端，如下图所示，此时万用表的蜂鸣器应当发出响声，并且指针应当指向零。若检测时，万用表蜂鸣器无声音发出，并且指针指向无穷大时，说明石英管的内部发生损坏。

(2)石英管的供电电压检测 检测石英管的供电电压时，首先将万用表的量程调至“交流250V”电压挡，红黑表笔分别搭在石英管的供电端，如下图所示。此时观察万用表的读数，若在交流220V左右，则说明石英管的供电电压正常。